（2018-07-10）
盛夏時(shí)節(jié)，位于余姚經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)的寧波江豐電子材料股份有限公司一派繁忙景象：生產(chǎn)車(chē)間里，工人們加緊調(diào)試設(shè)備；凈化車(chē)間，一塊塊閃爍著奇異光澤的金屬“圓餅”等待清洗包裝：這種由鋁、鈦、銅、鉭等超高純金屬經(jīng)特殊工藝加工而成的產(chǎn)品，是芯片超細(xì)金屬導(dǎo)線的基礎(chǔ)材料。它們就是超高純金屬濺射靶材。最近，由江豐電子牽頭的國(guó)家“45-28nm 配線用超高純系列濺射靶材開(kāi)發(fā)與產(chǎn)業(yè)化”項(xiàng)目以高分通過(guò)驗(yàn)收。
半導(dǎo)體芯片是信息時(shí)代的基石，也是尖端制造的制高點(diǎn)。多年來(lái)，海歸博士、國(guó)家“千人計(jì)劃”專家姚力軍帶領(lǐng)團(tuán)隊(duì)，在濺射靶材這一細(xì)分領(lǐng)域填補(bǔ)了多項(xiàng)國(guó)內(nèi)空白。時(shí)至今日，江豐電子生產(chǎn)的靶材已出口到全球280多個(gè)半導(dǎo)體芯片制造工廠。
“為中國(guó)制造增添光榮，賦予中國(guó)制造更多內(nèi)涵。”這句高懸在江豐電子展廳內(nèi)的標(biāo)語(yǔ)，正逐漸變?yōu)楝F(xiàn)實(shí)。
芯片生產(chǎn)過(guò)程中，不同靶材在一起交互作用，金屬原子被一層一層濺射到芯片上，再利用特殊工藝切割成納米級(jí)的金屬導(dǎo)線。
“普通金屬純度通常只有99.8%，而濺射靶材的純度通常高達(dá)99.999%以上。提純，是金屬靶材制造的第一道關(guān)卡。此外，晶粒晶相排列控制、無(wú)縫焊接乃至最后的清洗封裝等技術(shù)環(huán)節(jié)都要求盡善盡美。”江豐電子總工程師王學(xué)澤介紹。
超高的要求，意味著只有極少數(shù)企業(yè)才能脫穎而出。江豐電子擁有全球最大的集成電路靶材機(jī)加工車(chē)間，精密加工用的裝備，絕大多數(shù)都是與國(guó)內(nèi)機(jī)構(gòu)一起設(shè)計(jì)、研發(fā)。 “十一五”“十二五”期間，江豐電子連續(xù)承擔(dān)國(guó)家科技重大專項(xiàng)，研制超高純金屬濺射靶材。
走進(jìn)生產(chǎn)車(chē)間，一臺(tái)拱徑1米的碩大軋機(jī)映入記者眼簾。“不同于普通軋機(jī)，靶材在壓軋過(guò)程中要對(duì)溫度、壓力等核心參數(shù)進(jìn)行上千次實(shí)驗(yàn)測(cè)算，只有這樣，才能保證坯料里頭的原子變形均勻，從而使濺射靶材的晶粒晶相實(shí)現(xiàn)精確控制。”王學(xué)澤介紹。
“沒(méi)有金剛鉆，不攬瓷器活”。隨著芯片技術(shù)節(jié)點(diǎn)越做越小，靶材高純化和大型化趨勢(shì)不斷凸顯，超大規(guī)格熱等靜壓設(shè)備的研發(fā)、使用成為必然。
“這是世界上頂級(jí)的金屬焊接技術(shù)，高溫高壓作用下，金屬接觸面上的原子會(huì)自動(dòng)實(shí)現(xiàn)無(wú)縫擴(kuò)散，不僅不需要任何焊料，效率還很高。”王學(xué)澤指著一臺(tái)剛剛向國(guó)內(nèi)企業(yè)定制的熱等靜壓機(jī)舉例道，“它的直徑超過(guò)1.2米，高度4.5米，工作環(huán)境可達(dá)200MPa（2000個(gè)大氣壓）和1450攝氏度高溫，相關(guān)技術(shù)參數(shù)均達(dá)國(guó)際先進(jìn)水平，未來(lái)將在大尺寸平板顯示靶材研發(fā)上發(fā)揮巨大潛能。”
一家具有國(guó)際競(jìng)爭(zhēng)力的靶材企業(yè)，除了要不斷提高自主研發(fā)能力，還應(yīng)當(dāng)擁有一套行之有效的企業(yè)生產(chǎn)管理體系。隨著創(chuàng)業(yè)的不斷深入，姚力軍和同事們逐漸意識(shí)到這一點(diǎn)。
2011年，美國(guó)一個(gè)大客戶為培育未來(lái)供應(yīng)商，給江豐電子提出了包含質(zhì)量管理、安全生產(chǎn)、社會(huì)責(zé)任在內(nèi)的總計(jì)30多個(gè)模塊、幾百項(xiàng)內(nèi)容的門(mén)檻標(biāo)準(zhǔn)。遺憾的是，經(jīng)過(guò)一年的努力，江豐電子沒(méi)能通過(guò)對(duì)方審核。
好不容易和“國(guó)際大咖”握上手，結(jié)果還是被拒之門(mén)外，這給年輕的江豐電子上了一課。
“實(shí)踐證明，靶材生產(chǎn)不同于一般制造業(yè)，不是樣品合格就行，你的生產(chǎn)管理體系也要精益求精。”王學(xué)澤告訴記者，那之后，江豐電子又花了兩年多時(shí)間進(jìn)行針對(duì)性整改，當(dāng)對(duì)方最后終于滿意地點(diǎn)頭后，不少年輕員工當(dāng)場(chǎng)流下了熱淚。
學(xué)習(xí)日本先進(jìn)的5S現(xiàn)場(chǎng)管理模式、打造鏈條完善的產(chǎn)品質(zhì)量保障體系、提升一線員工客戶服務(wù)意識(shí)……對(duì)標(biāo)國(guó)際一流，江豐電子從零出發(fā)、不斷探索，他們的成長(zhǎng)速度讓不少客商豎起大拇指。
“我們有時(shí)會(huì)開(kāi)玩笑說(shuō)自己是‘做餅’的人，在濺射靶材這個(gè)領(lǐng)域，我們的目標(biāo)就是做到全球第一。”姚力軍說(shuō)。
要做到全球第一談何容易？從原材料提純到加工生產(chǎn)再到認(rèn)證評(píng)價(jià)，靶材研發(fā)周期長(zhǎng)、見(jiàn)效慢?？嗑殐?nèi)功之余，江豐電子不斷整合產(chǎn)業(yè)鏈，向上游原材料行業(yè)拓展。
這幾年,在姚力軍和江豐電子團(tuán)隊(duì)的吸引下，一批國(guó)家、省“千人計(jì)劃”專家集聚寧波余姚，創(chuàng)潤(rùn)新材料等一大批高科技企業(yè)嶄露頭角，當(dāng)?shù)匾越S電子為龍頭的半導(dǎo)體芯片全產(chǎn)業(yè)鏈集群年產(chǎn)值已高達(dá)數(shù)十億元。
2017年6月，江豐電子在創(chuàng)業(yè)板成功掛牌。有了資本力量的支持，靶材新產(chǎn)品研發(fā)生產(chǎn)邁上快車(chē)道。購(gòu)置重大裝備、試水智能生產(chǎn)、加速全球布局……眼下，江豐電子科研人員正在全力攻堅(jiān)“10-7nm”技術(shù)節(jié)點(diǎn)靶材技術(shù)。
“根據(jù)最新研究，芯片金屬導(dǎo)線寬度在理論上最細(xì)能達(dá)到1納米，也就是4個(gè)銅原子的寬度，這是人類有史以來(lái)最精細(xì)的制造技術(shù)，也是我們努力的目標(biāo)。”王學(xué)澤說(shuō)。
(新聞來(lái)源：浙江日?qǐng)?bào))
